Sensor qurilmasi yoki mikrofon qurilmasi uchun mikromexanik komponentni ishlab chiqarish usuli

Texnik amalga oshirish elementlari:

3. Ushbu ixtiro 1-bandning xususiyatlariga ega bo'lgan sensor qurilmasi yoki mikrofon qurilmasi uchun mikromexanik komponentni va 5-banddagi xususiyatlarga ega sensor qurilmasi yoki mikrofon qurilmasi uchun mikromexanik komponentni ishlab chiqarish usulini taklif qiladi.

4. Ixtironing afzalliklari

5. Ixtiroga muvofiq konstruksiya ixtiro tomonidan taklif qilingan mikromexanik komponentning kamida bitta elektr izolyatsion qurbonlik qatlamining kamida bitta qurbonlik qatlamiga asoslangan va shu bilan bir xil. Mikromexanik komponentning bo'shlig'ini sozlash uchun kamida bitta qurbonlik qatlamining elektr izolyatsiyalovchi materiali, kamida bitta qurbonlik qatlamini qisman olib tashlash uchun mos bo'lgan jarayon shikastlanmasdan yoki olib tashlashdan tashvishlanmasdan amalga oshirilishi mumkin. kamida bitta izolyatsiya maydoni. Shunday qilib, ixtiro ixtiroga muvofiq mos keladigan mikromexanik komponentni membrana materiali qatlami va elektrod materiali qatlami o'rtasida elektrod strukturasini membranadan elektr izolyatsiyalash uchun qulay bo'lgan kamida bitta izolyatsiyalash hududi bilan jihozlashni osonlashtiradi. elektr izolyatsiyalash va / yoki kamida bitta qurbonlik qatlamining kamida bitta qoldiq hududini bo'shliqdan ajratish. Shunday qilib, ixtiro ixtiroga muvofiq mikromexanik komponentni texnikaning oldingi darajasiga nisbatan yaxshilaydi va qo'shimcha ravishda ixtironing ishlab chiqarish tannarxiga muvofiq mikromexanik komponentni ishlab chiqarish uchun ixtiroga muvofiq mehnat xarajatlarini va mikromexanik komponentni kamaytirishga yordam beradi.

6. Kamida bitta qurbonlik qatlamining kamida bitta qoldiq hududini ajratish uchun kamida bitta izolyatsion hudud, xususan, bo'shliqni qurishda kamida bitta qoldiq hududning istalmagan o'qlanishidan "o'chirishdan himoya qilish" vazifasini bajarishi mumkin. Shu bilan birga, kamida bitta qoldiq hududni ajratish uchun kamida bitta elektr izolyatsiyalovchi materialdan qurilgan kamida bitta izolyatsiyalash hududiga erishiladi.

Biz bilan bog'lanish:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894