Mikroelektromexanik qurilma va uni yasash usuli

1. Ushbu ixtiro mikroelektromexanik qurilma va uni ishlab chiqarish usuliga tegishli.

Fon texnikasi:

2. Mikroelektromexanik qurilma (mems) mikroelektronika texnologiyasi, yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish texnologiyasi va boshqa fanlar asosida har tomonlama ishlab chiqilgan texnologiya bo'lib, u litografiya, korroziya, yupqa plyonka yotqizish, mikro ishlov berish va nozik ishlov berish kabi bir nechta texnik sohalarni birlashtiradi. turli xil ilovalar ehtiyojlarini qondirish uchun nozik qurilmalarni miniatyura qilish. Umumiy xotira qurilmalariga akselerometrlar va giroskoplar kiradi.

3. Hozirgi mems akselerometrlari yoki giroskoplar asosan massa blokini qo'llab-quvvatlash uchun ikki yoki undan ortiq konsolli nurli tuzilmalardan foydalanadi. Massa bloki tezlashuv tufayli joyidan siljishi mumkin yoki massa blokining sig'im o'zgarishini o'lchashda tebranish uchun harakatlanishi mumkin. Tezlanish va burchak tezligini o'lchash mumkin. Shu bilan birga, konsol nurlarini ishlab chiqarish jarayoni murakkab va konsol nurlari orasidagi stress muvozanati muammosi yuzaga keladi.

Biz bilan bog'lanish:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894